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ST-21型方塊電阻測試儀
ST-21型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標準和美國A.S.T.M標準,專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準電源和運算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點。
ST-21型方塊電阻測試儀特點:
1,采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測量準確穩(wěn)定,低功耗;
2,以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;
3,采用單個電池供電,帶電池欠壓指示;
4,體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
5,特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜
6,探頭帶抗靜電模塊
ST-21型方塊電阻測試儀技術(shù)參數(shù)
測量范圍
按方塊電阻量值大小分為二個量程檔:
1.方塊電阻 1.00~199.99Ω/□;
2.方塊電阻 10.0~1999.9Ω/□;
*小分辨率:0.01Ω/□
恒流源
測量過程誤差:≤±0.8%
模數(shù)轉(zhuǎn)換器
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點同步顯示;
測量不確定度
在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5%
四探針探頭規(guī)格
間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
電源
9V疊層電池1節(jié)
ST-21方塊電阻測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格:
型號 |
曲率半徑 |
壓力 |
探針間距 |
探針排列 |
HP-501 |
0.5mm |
100g |
3.8mm |
直線 |
HP-502 |
0.75mm |
100g |
3.8mm |
直線 |
HP-503 |
0.1mm |
150g |
1mm |
直線 |
HP-504 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
直線 |
ST-21方塊電阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格:
SP-601型方形四探針探頭是一種專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(面電阻)的方塊電阻測試儀配用的方型四探針測試探頭,專用于測量小樣品的四探針探頭,可用于一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻
1,特制之手握式探筆
2,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護薄膜不被損傷
3,探頭帶抗靜電模塊有效防止方塊電阻測試儀采集數(shù)據(jù)集成模塊燒壞
4,探頭使用壽命長
5,探針間距:1.59mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
型號 |
曲率半徑 |
壓力 |
探針間距 |
探針排列 |
SP-601 |
0.5mm |
100g |
1.59mm |
方形 |